使用DF-G2检测晶圆的中心

2017-12-29 13:39

挑战:
邦纳光电传感器-Q4X系列   检测晶圆片位置在半导体行业中至关重要,因为晶圆价值高达10万美元,而相关机器的成本也高达数百万美元。确保晶圆片放置正确可防止损坏价格高昂的晶圆和设备。通过检测晶圆片的中心,操作员可以确保在将晶圆片放入室内时,将晶圆片正确放置在机械臂上。
解决方案

  • 通过将邦纳DF-G2与四套对射式PLIS-1光纤配合使用,操作员可确保晶圆片位于机械臂的末端执行器上,以便在将其传递到真空室内时不会出现损坏。当机械臂将晶圆片移入真空室内时,光纤束会发生中断,系统将采用一定的算法,根据光纤感应光束的中断时间来计算确切的晶圆位置。

    邦纳DF-G2响应快速,可快速测量和检测晶圆的中心。如果晶圆片偏离中心,机械臂就能有时间将晶圆片调整到正确位置,从而防止损坏晶片和设备。

    对射式PLIS-1光纤具有90⁰视角,而且其光束小,因此可用于精确测量晶圆片位置。这些光纤还适用于高温环境,例如半导体制造的真空室区域。在空间有限的区域内,远程放置的放大器以及光纤可带来最佳的解决方案。
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